A 2002-ben kísérleti jelleggel 11 modellterületen indult ÉTT program, 2004-ben - a MePAR rendszerben már szereplő - 15 mintaterületen folytatódott. 2009-től - az időközben elvégzett felülvizsgálat alapján - további tíz területen, összesen 25 kijelölt helyen indulhat újra - most már MTÉT (Magas Természeti Értékű Területek) néven a program. A 2016-2020-as új programozási időszakban három új területtel bővülnek a kijelölt MTÉT-ek, így már több mint 1 millió hektár vált támogathatóvá a program keretén belül.
